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電子束曝光系統
021-64283335
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電子束曝光系統:微觀世界的精密畫師
了解一下三維光學輪廓儀的主要功能吧
保證最終元器件的性能指標是光學元件加工領域的關鍵問題之一
ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺加速電壓達125KV的電子束曝光系統,其可加工線寬下限為5nm的精細圖形。(以下參數基于ELS-F125)
服務熱線:13501903943